洁净室的四个核心重点之送风洁净度
确保送风的洁净度符合标准的关键在于净化系统的末级过滤器性能和安装。
末级净化系统的过滤器通常选择高效或亚高效过滤器。根据我国标准规定,高效过滤器的效率分为四个等级:A类≥99.9%,B类≥99.9%,C类≥99.999%,D类(对≥0.1μm的颗粒)≥99.999%(也称为超高效过滤器);而亚高效过滤器(对≥0.5μm的颗粒)效率为95~99.9%。过滤器的价格会随着效率的提高而增加,因此在选择过滤器时,需要平衡洁净度需求和经济合理性。
根据洁净度的要求考虑,低等级洁净室应当选用低性能过滤器,高等级洁净室则应当选用高性能过滤器。通常来说:在100万级洁净室可选择高中效过滤器;在1万级以下可选择亚高效或A类高效过滤器;在1万至100级之间可选择B类过滤器;在100至1级之间可选择C类过滤器。每个洁净度级别似乎都有两种可供选择的过滤器,选择高性能还是低性能的需要根据具体情况而定:当环境污染严重,室内排风比例很大,或者该洁净室显得非常重要时,需要有更大的安全保证时,应该选择高一级别的过滤器;反之可以选择较低性能的过滤器。对于要求控制0.1μm粒子的洁净室,无论控制的粒子浓度是高还是低,都应选择D类过滤器。上述内容仅仅从过滤器的角度讨论,实际选择合适的过滤器还需要综合考虑洁净室的特性、过滤器的特性以及净化系统的特性。
为了确保送风的清洁度,仅靠合格的过滤器是不够的,还需确保:a.在运输、安装过程中不损坏过滤器;b.安装要密封严实。要做到第一点,就需要施工安装人员受过专业培训,不仅要懂得净化系统的安装知识,还要具备熟练的安装技能,否则很难保证不会损坏过滤器。其次,安装的密封性问题主要取决于安装结构的优劣,设计手册一般建议:单个过滤器应采用明装型式,即使发生渗漏,也不至于影响室内;而使用成品高效送风口,密封性相对容易保证。对于多个过滤器的情况,近年来常采用液槽密封和负压密封。
液槽的密封应确保接缝封闭严密,整体结构处于相同水平面。负压密封是指使过滤器与静压箱和框架接缝外围形成负压,类似于表面安装,即使有渗漏也不会漏出室内。实际上,只需确保安装框架平整,过滤器端面均匀接触安装框架,无论采用何种安装方式,实现过滤器的紧密安装要求并不困难。
