无尘室净化工程的原理及相关参数有哪些
目前,无尘室工程已成为半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、电路板制造、生物化学、医药、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近年来,由于技术的创新和发展,对高精度、小型化产品的需求更加迫切。例如,超大型积体电路的研究和制造已成为世界各国高度重视科学技术发展的项目,设计理念和施工技术在行业中处于领先地位。
无尘室工程一般包括:
1.生产区域洁净;
2.净化辅助室(包括人员净化室、物料净化室、部分生活室等);
3.管理区(包括办公室、值班、管理和休息等) ;
4.备区(包括净化空调系统的应用、电气房、高纯水、高纯气房、冷热设备房) 。
无尘室工程净化原理:
气流→初效净化→空调→中效净化→风机送风→管道→高效出风口→吹入无尘室→带走尘埃细菌等颗粒→回风百叶窗→通过重复上述过程,可以达到无尘室净化的目的。
无尘室工程净化参数:
1.通风次数:100000级≥15次;10000级≥20次;1000≥30次。压差:主车间与相邻房间相对≥5Pa 。
2.平均风速:10级,0.3-0.5级m/s;冬季气温>16℃;夏季 <26℃;波动±2℃。
3.温度45-65%;GMP粉末车间湿度在50%左右为宜;为了避免静电,电子车间的湿度略高。
4.噪声≤65dB(A);新鲜空气的补充是总送风量的10%-30%;照度300LX。
无尘室工程结构材料:
1. 净化车间的墙壁和顶板通常由50毫米厚的夹层净化彩钢板制成,具有美观、刚性强的特点。弧形角落、门窗框一般采用专用净化铝型材制成。
2.地面可采用环氧自流坪地面或高档耐磨塑料地面,有防静电要求的,可采用防静电型。
3.送回风管道采用热镀锌板制成,粘贴阻燃PF泡沫塑料板,具有良好的净化保温效果。
4.高效送风口采用不锈钢框架,美观洁净,冲孔网板采用烤漆铝板,不生锈不粘尘,宜洁净。
无尘室工程解决方案:
在净化工程的设计过程中,应加强对光学微电子行业净化工程设计方案的分析和理解,根据新建工程或旧厂房改造工程,确定所需的洁净度、温度和湿度,结合其具体的生产工艺和生产工艺要求。此外,根据项目的具体情况,还应考虑制造商的经济承受能力,并结合各种因素确定采用何种净化方案,从而设计出能够满足甲方生产和使用要求的方案,项目成本合理,经济、节能、实用。
