如何精准测定硝酸/氢氟酸蚀刻液浓度？CT-Plus给出答案

在半导体制造工艺中，湿法刻蚀作为关键环节之一，其工艺液成分的精确控制直接影响器件加工的精度与良率。尤其是硝酸/氢氟酸混合蚀刻液体系，因酸性强、成分复杂、终点判断困难，其浓度的准确测定一直是行业关注的焦点。

 

传统手工滴定方式不仅操作繁琐、重复性差，还易受人为因素干扰，难以满足现代半导体制造对高精度质量控制的要求。为解决这一痛点，CT-Plus全自动电位滴定仪应运而生，以其出色的稳定性、高精度判定能力和智能化操作体验，为混酸体系分析提供了可靠的技术手段。

 

 

技术优势显著，结果精准可靠

 

CT-Plus电位滴定仪采用高精度液路系统与智能判定算法，具备以下核心特点：

 

-高精度计量系统：配备20mL高精度计量管，最小加液体积可达10μL，确保滴定过程细腻可控；

-智能终点识别：依托微分终点判定模式（微分值可设），有效避免主观误判，准确捕捉滴定终点；

-高效稳定的操作流程：方法预设、自动搅拌、实时电位监控一体化完成，单样测试仅需约2分钟；

-良好的兼容性与适应性：可搭配pH102复合电极或锑电极，适用于强酸、混酸等复杂体系。

 

典型应用案例：硝酸/氢氟酸混合蚀刻液浓度分析

 

通过实际测试数据可见，CT-Plus在硝酸/氢氟酸双组分同步测定中表现出色：